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微电子技术促进了传感器技术的发展

本文摘要:目前,我国传感器行业规模较小,应用于范围较宽。为此,我们必需转变观念,将传感器的研发由单一物性型传感器的研发,转化成为高度构建的新型传感器研发。新型传感器的研发和应用于已沦为现代系统的核心和关键,它将沦为21世纪信息产业新的经济增长点。 我国早在20世纪60年代就开始投身于传感器制造业。

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目前,我国传感器行业规模较小,应用于范围较宽。为此,我们必需转变观念,将传感器的研发由单一物性型传感器的研发,转化成为高度构建的新型传感器研发。新型传感器的研发和应用于已沦为现代系统的核心和关键,它将沦为21世纪信息产业新的经济增长点。

我国早在20世纪60年代就开始投身于传感器制造业。我国在1972年重新组建正式成立中国第一批压阻传感器研制生产单位;1974年,研制成功中国第一个简单压阻式压力传感器;1978年,问世中国第一个固态压阻加速度传感器;1982年,国内最先开始硅微机械系统(MEMS)加工技术和SOI(绝缘体上硅)技术的研究。转入20世纪90年代后,硅微机械加工技术的意味著压力传感器、微压传感器、呼吸机力传感器、多晶硅压力传感器、低成本TO-8PCB压力传感器等相继问世并构建生产。改革开放30年来,我国传感器技术及其产业获得了长足进步,主要展现出在:创建了传感技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、国家传感技术工程中心等研究研发基地;MEMS、MOEMS(微光机电系统)等研究项目列为了国家高新技术发展重点;在“九五”国家重点科技攻关项目中,传感器技术研究获得了51个品种86个规格新产品的成绩,可行性创建了敏感元件与传感器产业;2007年传感器业总产量超过20.93亿只,品种规格最迟6000种,并已在国民经济各部门和国防建设中获得一定应用于。

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几十年来,微电子技术增进了传感器技术的发展。未来10年~20年,传统硅技术将转入成熟期(预计在2014年~2017年)。从总体发展看,传统硅技术市场将仍然沿袭到2047年(即晶体管发明者100周年)才渐趋饱和状态(即超过芯片特征尺寸的无限大)并衰落。

而当前微电子技术仍将依从“等缩比原理”和“摩尔定律”两条基础定律回头下去,在迫近传统硅技术无限大中,大大拓展硅的跨学科纵向应用于(如MEMS等)和更加先进设备应用于(量子、分子器件)。而上述微电子技术的两大发展方向正是当前乃至未来20年传感器技术的主要发展方向。


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